Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Ablösen des Resists im Sauerstoffplasma — fotorezisto šalinimas deguonies plazmoje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. oxygen gas plasma stripping vok. Ablösen des Resists im Sauerstoffplasma, n rus. удаление фоторезиста в кислородной плазме, n pranc. élimination du… … Radioelektronikos terminų žodynas
fotorezisto šalinimas deguonies plazmoje — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. oxygen gas plasma stripping vok. Ablösen des Resists im Sauerstoffplasma, n rus. удаление фоторезиста в кислородной плазме, n pranc. élimination du photorésist en plasma d oxygène, f … Radioelektronikos terminų žodynas
oxygen-gas plasma stripping — fotorezisto šalinimas deguonies plazmoje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. oxygen gas plasma stripping vok. Ablösen des Resists im Sauerstoffplasma, n rus. удаление фоторезиста в кислородной плазме, n pranc. élimination du… … Radioelektronikos terminų žodynas
élimination du photorésist en plasma d'oxygène — fotorezisto šalinimas deguonies plazmoje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. oxygen gas plasma stripping vok. Ablösen des Resists im Sauerstoffplasma, n rus. удаление фоторезиста в кислородной плазме, n pranc. élimination du… … Radioelektronikos terminų žodynas
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… … Химическая энциклопедия
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
фотолитография — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
photolithography — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
